Научный журнал
Международный журнал экспериментального образования

ISSN 2618–7159
ИФ РИНЦ = 0,757

ОДНОКРИСТАЛЬНЫЕ ЦИФРОВЫЕ ДАТЧИКИ ПАРАМЕТРОВ ДВИЖЕНИЯ

Коноплев Б.Г. 1
1 Южный федеральный университет

Датчики параметров движения (гироскопы и акселерометры) на основе МЭМС-технологий широко применяются в современной аппаратуре бытового и промышленного назначения: от электронных игр и смартфонов до систем управления автомобилями и автоматизированными складами. При массовом производстве определяющей характеристикой является стоимость МЭМС-датчиков. В настоящее время даже самые совершенные МЭМС-датчики, производимые компанией STM для смартфонов фирмы Apple, состоят из двух чипов (МЭМС-сенсор и схема обработки сигналов), объединенных в одном корпусе. Необходимость сборки существенно повышает стоимость двухкристального датчика.

В Институте нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета разработаны конструкции микро- и нано-механических многоосевых емкостных гироскопов-акселерометров (патенты РФ 2251077, 2266521, 2279092, 2300773, 2304273, 2334237, 2351896, 2351897, 2415443, 2455652, 2477863, 2597950, 2597951, 2597953), полностью совместимых с КМОП-технологией, что позволяет создавать хорошо приспособленные для массового производства однокристальные МЭМС-датчики параметров движения низкой стоимости. Разработанное на основе логических КМОП-элементов высокочувствительное устройство преобразования емкости в частоту (патент РФ 2602493) позволяет получить выходные сигналы датчиков в требуемых цифровых форматах.

Рассматривается методика проектирования однокристальных многоосевых МЭМС-гироскопов-акселерометров в виде IP-ядер, описываемых на языке Verilog с использованием средств САПР MicroWind/DSCH.

Работа выполнена при финансовой поддержке Южного федерального университета (проект № ВнГр-07/2017–10).


Библиографическая ссылка

Коноплев Б.Г. ОДНОКРИСТАЛЬНЫЕ ЦИФРОВЫЕ ДАТЧИКИ ПАРАМЕТРОВ ДВИЖЕНИЯ // Международный журнал экспериментального образования. – 2017. – № 3-2. – С. 211-212;
URL: http://expeducation.ru/ru/article/view?id=11304 (дата обращения: 23.04.2021).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1.074