Научный журнал
Международный журнал экспериментального образования
ISSN 2618–7159
ИФ РИНЦ = 0,425

ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ХИМИЧЕСКИ АКТИВНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Власовский В.В. Жалнова Е.В.

Библиографическая ссылка

Власовский В.В., Жалнова Е.В. ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ХИМИЧЕСКИ АКТИВНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА // Международный журнал экспериментального образования. – 2011. – № 3. – С. 50-51;
URL: https://expeducation.ru/ru/article/view?id=1206 (дата обращения: 28.03.2024).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1,674