, ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ХИМИЧЕСКИ АКТИВНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА // International Journal of Experimental Education. 2011. No. 3. pp. 50-51;
URL: https://expeducation.ru/en/article/view?id=1206 (accessed: 27/08/2026).