Научный журнал
Международный журнал экспериментального образования
ISSN 2618–7159
ИФ РИНЦ = 0,425

Личный портфель

ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ХИМИЧЕСКИ АКТИВНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Власовский В.В. Жалнова Е.В.

Библиографическая ссылка

Власовский В.В., Жалнова Е.В. ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ХИМИЧЕСКИ АКТИВНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА // Международный журнал экспериментального образования. 2011. № 3. С. 50-51;
URL: https://expeducation.ru/ru/article/view?id=1206 (дата обращения: 13.06.2025).